玻璃晶圓缺陷檢測設備
產品介紹
玻璃晶圓缺陷檢測設備(NOVA-2000-G)，是用于透明或半透明玻璃晶圓襯底的缺陷檢測設備，可檢出顆粒物、劃痕、凹坑、凸起、崩邊、裂紋等缺陷，對透明晶圓的質量控制具有重要作用。
玻璃晶圓缺陷檢測設備集成明場、暗場等多種檢測模式，對各類缺陷提供可靠的缺陷信息，結合缺陷自動檢測與分類算法，提取包括缺陷類型、尺寸、坐標、統計數據等在內的各項缺陷數據，生成晶圓缺陷檢測報告供用戶進行質量評估和判定。
| 玻璃晶圓缺陷檢測設備 | |
| 型號 | NOVA-2000-G |
| 晶圓類型 | 玻璃晶圓襯底、圖形晶圓 |
| 晶圓尺寸 | 4寸、6寸、8寸、12寸(可兼容相鄰尺寸) |
| 檢測方式 | 明場、暗場、微分干涉 |
| 分辨率 | 10μm -0.5μm |
| 鏡頭 | 1X,2X 5X,10X,20X,50X |
| 檢測缺陷類型 | 劃痕，麻點，顆粒物，污染，崩邊等 |
| 產率 | ≥12WPH(@8英寸晶圓，分辨率1μm) |
| ≥7WPH(@12英寸晶圓，分辨率1μm) | |
| 自動化 | 2 LoadPort |
01
【裝夾方式定制化】可根據需求配置晶圓夾持方式，應對晶圓背面有效區域內不能接觸的需求。
02
【高自動化程度】采用全自動傳片與檢測方式，靈活的配方設置，實現檢測過程一鍵式操作。
03
【背面噪聲抑制】 特殊設計的光學成像系統與機械結構，抑制背景噪聲，保證透明玻璃晶圓缺陷信號的準確性。
04
【高檢測效率】采用時間延遲積分技術和高功率照明，相比傳統探測器能夠更高效率的獲取圖像信息，得到高檢測吞吐效率。
05
【智能算法】傳統算法與AI算法相結合，融合多通道檢測信息，精確定位缺陷和提取缺陷，并給出缺陷的名項信息，包括缺陷類型、尺寸、坐標等。
06
【實時自動對焦】實時自動對焦，對不同厚度晶圓和翹曲晶圓實現自動對焦和全程跟焦。
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