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【多通道光學檢測系統】特殊設計的多通道光學檢測系統，實現SiC復雜多樣的缺陷在一次運行中完成檢測。

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【實時自動對焦】實時自動對焦，對不同厚度晶圓和翹曲晶圓實現自動對焦和全程跟焦。

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【缺陷自動檢測與分類算法】基于深度學習的缺陷自動檢測與分類算法。

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【高潔凈等級】全密封檢測環境，全自動傳片，無塵微環境設計，保障晶圓檢測過程的潔凈。

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【智能操作軟件】一鍵式操作軟件，自動檢測晶圓位置與數量，并進行自動檢測。也可選擇單片檢測，靈活操作。

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【檢測信息可追溯】支持晶圓盒ID和晶圓ID的自動讀取和存儲，檢測測結果與ID綁定，可隨時根據ID進行晶圓檢測結果的查找，保證可追溯性。